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PVD镀膜机中氩气的作用是什么?

时间:2020-08-19    点击数:

AR+2是一种惰性气体(类似于氦气,氖气,氙气。都属于惰性气体里面的),PVD(物理气相沉积)中,它是作为工作气体使用的,他的作用主要是用于PVD中的辉光(清洗),沉膜时的工作气体等。

因为它是惰性家族中的气体这一,活性没有其它(如乙炔,甲烷,氮气,氧气)气体强;生产中,用氩气作为工作气体的主要是从经济上考量,成本相对于其它惰性气体是最便宜的,其次是氦气(在PVD或真空中),它用于检漏。

本文网址://gaosiketang.com/news/444.html

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