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18913268389汤生
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蓝黑色:TiALCN(TiAL合金靶,气体为乙炔与氮气)
纯色:纯黑 CrC或者TiC;银色 Cr;金TiN;咖啡TiCN;灰TiC或者CrC;不锈钢色CrC等,纯白Al;具体的设备如下:炉体、转架、抽气系统、冷却及加热系统、弧源及弧电源、中频电源、平面靶或者圆柱靶、监测设备等(机械、炉体、能量、气、靶、真空系统);工艺:教科书上都有的,颜色靠经验。
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