真空镀膜机
        依照薄膜原理区分:能够分为溅射镀膜、离子镀膜、蒸腾镀膜和化学气相堆积镀膜。依照运用目标能够分为光学镀膜、卷绕镀膜、装修镀膜、太阳能集热管镀膜、刀具镀膜、修建镀膜、导电镀膜等等。 
        真空蒸腾镀膜机
        蒸腾镀膜设备在中国一切镀膜设备中是最先开发成功的镀膜设备，20世纪50年代中国就现已研发成功，蒸腾镀膜设备的品种繁多，有用于镀制光学薄膜的光学镀膜设备，首要用于光学器材，激光器材以及微电子器材等，还有选用蒸腾镀膜原理制作的卷绕镀膜设备，用于装修装修、电子器材包装等各行各业。
        溅射镀膜机
        离子靶材，使其被溅射出来堆积到基片上构成薄膜。溅射镀膜设备可镀制ITO导电膜、介质膜、半导体膜、金属膜、磁性膜、高温超导膜、单晶膜、装修膜等多种薄膜，如用于电子职业大规模集成电路和光盘、磁盘薄膜的镀制。用于修建职业的幕墙玻璃薄膜，电子职业的电容器薄膜，航空航天器中的固体光滑膜，动力方面的太阳能电池，以及气体、包装、红外技能等多个职业。
        离子镀膜机
        离子镀膜设备可分为电弧离子镀膜、射频放电离子镀膜、空心阴极离子镀等等，离子镀由其镀膜原理决议了其堆积速度快，镀层质密，膜层附着性好等特色。被广泛用于东西、模具等职业，可镀制金属膜、硬膜、仿金膜等等。 
        化学气相堆积设备
        化学气相堆积设备是以化学反应的办法制膜，可用于镀制外表保护膜以及半导体和电子资料。
        离子束刻蚀设备
        刻蚀作为半导体工业中的超精细加工技能，跟着大规模集成电路的集成度的添加而变成不行短少的重要设备。离子束刻蚀技能与其他化学腐蚀、等离子体溅射等技能比较，对加工资料没有选择性、能够进行超微细加工，能够刻蚀十分精细的沟槽，刻蚀的图形边际明晰，精确度高。离子束刻蚀设备可分为立式和卧式，国产设备真空体系首要以油分散泵加水冷挡板为主，国外较多选用低温泵抽气体系。
        真空炉
        真空炉在中国的开展起始于20世纪50年代末。第一台10公斤真空感应炉于1958年开端在沈阳研发，1960年经过判定。目前中国出产的真空炉品种繁多，大致可分为冶金炉和热处置炉,其间冶金炉有：真空电阻炉、真空烧结炉、真空电弧炉、真空感应炉、单晶炉以及真空钎焊设备等；真空热处置炉包含：真空淬火炉、回火炉、退火炉、渗碳炉、辉光离子氮化炉等。 
        真空电阻炉
        真空电阻炉是在真空条件下，使用电阻来加热工件或资料。首要用于生动、难溶金属或某些磁性合金退火和真空除气。电阻炉的品种有许多，依照不一样的办法可分为立式、卧式、内热式、外热式等等。
        真空烧结炉
        真空烧结炉首要用于硬质合金、陶瓷资料、磁性资料、稀有难熔资料、金属粉末制品、光电元件等资料的烧结处置。关于烧结处置的资料不一样，真空烧结炉的品种有可达2 000℃以上的高温烧结炉和真空度较高的高真空烧结炉。
        真空电弧炉
        真空电弧炉是使用弧光放电发生的电弧使工件或资料执熔。可用于熔嫔会仝铜 法滁金屬铣锆和难溶金属。真空电弧炉的品种能够分为自耗炉、非自耗炉及凝壳炉等等。
        真空感应炉
        真空感应炉是使用电磁感应的办法将炉内的坩埚加热，在真空状态下进行金属和合金的熔炼。可对精细合金、磁性资料、活性金属和难溶金属进行熔炼。  
        真空镀膜机按照真空炉功能来分类的占少数，大多数还是以行业来分类。不过以行业单位，按真空炉来分类的，那就比较多了。