一、蒸发真空镀膜机镀膜工艺的基本工艺过程

(3)真空蒸发工艺实例以塑料金属化为例，真空蒸发工艺包括:前处理、镀膜和后处理。

(1)电镀前预处理，包括电镀件的清洗和预处理。具体的清洗方法有清洗剂清洗、化学溶剂清洗、超声波清洗和离子轰击清洗。特殊预处理有除静电、底漆涂布等。

(2)炉装，包括真空室清洗和电镀挂具清洗、蒸发源安装、调试、镀膜卡。

(3)抽真空时，通常先粗到6.6Pa以上，提前打开扩散泵的前段维持真空泵，加热扩散泵，待预热足够后，打开高阀，用扩散泵泵至6×10-3Pa半底真空度。

(4)烘烤、烘烤、加热电镀至要求的温度。

(5)离子轰击，真空度一般为10Pa ~ 10-1Pa，离子轰击电压为200V ~ 1kV负高压，电离时间为5min ~ 30min，

(6)预熔，调整电流使电镀预熔，调整电流使电镀预熔，脱气1min ~ 2min。

(7)蒸发沉降，可根据要求调节蒸发电流，直到所需沉降时间结束。

(8)冷却:将被镀件在真空室中冷却到一定温度。

(9)出烤箱。取件后关闭真空室，抽真空至L × L0-1Pa，冷却扩散泵至允许温度，再关闭维护泵和冷却水。

(10)处理后，涂漆。