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分析真空镀膜机适用范围及分类

时间:2022-06-21    点击数:
  分析真空镀膜机适用范围及分类?很多人对真空镀膜机的认识只是浮于表面,其实真空镀膜机的研究室一门大学问,真空镀膜机的类型有多样化,为大家详细介绍一下真空镀膜机的分类及使用范围。
 
  真空镀膜机包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅镀膜机射、MBE分子束外延镀膜机和PLD激光溅射沉积镀膜机等很多种。主要是分成蒸发和溅射两种。在真空镀膜设备中需要镀膜的被成为基片,镀的材料称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材促使其形成离子小分子,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜。溅射真空镀膜是利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,高分子沉积在基片表面形成涂层薄膜。炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
 
  根据工艺要求选择不同规格及类型镀膜设备,有电阻蒸发真空镀膜的设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等。夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式,用户可根据片尺寸及形状提出相应要求,转动的速度范围及转动精度:普通可调及变频调速等。
 
  磁控溅射镀膜设备:应用于信息存储领域,如磁信息存储、磁光信息存储等。磁控溅射镀膜机:应用于防护涂层,如飞机发动机的叶片、汽车钢板、散热片等。磁控溅射镀Al膜生产线:应用于太阳能利用领域,如太阳能集热管、太阳能电池等。光学镀膜设备:应用于光学薄膜领域,如增透膜、高反膜、截止滤光片、防伪膜等。
 
  导电膜磁控溅射镀膜生产线:应用于信息显示领域,如液晶屏、等离子屏等。
 
  磁控中频多弧离子真空镀膜机:应用于硬质涂层,如切削工具、模具和耐磨耐腐蚀零件等。PECVD磁控生产线:应用于集成电路制造,如薄膜电阻器、薄膜电容器、薄膜温度传感器等。蒸发式真空镀膜设备:应用于在装饰饰品上,如手机壳、表壳、眼镜架、五金、小饰品等镀膜。低辐射玻璃镀膜生产线:应用于建筑玻璃方面,如阳光控制膜、低辐射玻璃、防雾防露和自清洁玻璃等。抗反射导电膜连续磁控溅射生产线:应用于电子产品领域,如液晶显示器、液晶电视、MP4、车载显示、手机显示、数码相机和掌声电脑等。


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