真空镀膜设备要在真空标准下工作中，因而该机器设备要考虑真空对自然环境的规定。真空对水镀厂自然环境的规定，一般包含真空设备对所在试验室（或生产车间）的溫度、气体中的颗粒等周边环境的规定，和对处在真空情况或真空中的零件或表层规定2个层面。
昆山pvd真空镀膜设备需要的环境要求

这2个层面是有紧密联系的。周边环境的优劣立即危害真空设备的一切正常应用；而真空设备的真空室或装进里边的零件是不是清理，又立即危害机器设备的性能。假如气体中带有很多的水蒸汽和尘土，镀膜厂在真空室沒有历经清理的状况下用食油封机械泵去抽真空，要超过预估的真空度没办法的。众所周知，骨架密封式机械泵不适合抽除对金属材料有腐蚀、对真空油其反映的以带有颗粒浮尘的汽体。水蒸汽为可凝气体，当很多抽除可凝气体时，对油泵的环境污染会更为比较严重，結果使泵的极限真空降低，毁坏了泵的抽真空性能。

真空镀厂生产自然环境中的烟尘要以粉末状体、眼无题、烟尘来区别的。粉末状体是粉末状或固态颗粒的结合或分散化情况的物质。说白了粉末状就是指细微的固态颗粒的结合，而颗粒就是指可以一个一个记数的细微物质。浓烟体要以固态或液态的细微颗粒呈浮情况存有于汽体中的物质管理体系。物质不论是固态還是液态，但凡呈颗粒情况均可通称为细颗粒物。以细颗粒物直徑的尺寸来明确气体洁净度的规范，进而订制出净化室的级别。不但合适于有清洁规定的产业部门，也合适于真空对清洁自然环境的规定。