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PVD真空镀膜是一种物理气相沉积法,是指在真空环境下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质电离,在电场的作用下,使被蒸发物质或其反应产物沉积在工件上面的薄膜制备技术。PVD镀膜技术分为蒸发镀、溅射镀和离子镀三种,都可称之为PVD镀膜。
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