真空镀膜pvd的工艺流程？

　　真空镀膜加工是一种常见的表面处理技术，广泛应用于电子、光学、机械等行业中。下面是真空镀膜PVD的工艺流程介绍。

　　1. 准备工作

　　首先，需要对待镀物进行表面清洁和处理，以确保表面光洁度和粗糙度符合要求。同时，需要准备镀层材料和辅助材料，如靶材、保护膜、控制系统等。

　　2. 真空抽气

　　将待镀物和镀层材料放置在真空室内，进行真空抽气，以将室内气体抽出，降低室内压力，创造真空环境。真空抽气需要控制抽气速度和压力，以防止待镀物表面的氧化和污染。

　　3. 靶材烧结

　　在真空室内，将所需的镀层材料制成靶材，进行烧结处理，以提高材料的密度和纯度，并保证靶材的稳定性和耐久性。

　　4. 靶材镀膜

　　将靶材放置在镀膜设备中，并通过电子束、离子束或热蒸发等方式，将靶材材料转化为气态，形成气体束，沉积在待镀物表面，形成镀层。镀膜过程需要控制气体流量、功率、时间等参数，以获得所需的镀层厚度和质量。