1、采用各种能源方式转换成热能， 加热膜材使之蒸发或升华， 成为具有一定能星 ( 0霉 1/'"->J0 . 3 e V) 的气态粒子（原子、分子和原子团）；

2 、离开膜材表面，具 有相当运动速度的气态粒子以基本上无碰撞的直线飞行输运到基体表面；

3、到达基体表面的气态粒子凝聚形核后生长成固相薄膜；

4、组 成 薄 膜 的 原子重组排列或产生化学键合；