真空镀膜机分很多类目，应用领域不一样，型号不同，但是真空镀膜机的正常工作条件和维修方法几乎都是一样的，下面小编为大家详细介绍一下真空镀膜机的工作条件和维修保养方法：

真空镀膜机的正常工作条件

• 环境温度：10~30℃

• 相对湿度：不大于70%

• 冷却水进水温度：不高于25℃

• 冷却水质：城市自来水或质量相当的水

• 供电电压：380V，三相50Hz或220V，单相50Hz（由所用电器需要而定），电压波动范围342~399V或198V~231V，频率波动范围49~51Hz；

• 设备所需的压缩空气、液氮、冷热水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书上写明。

• 设备周围环境整洁、空气清洁，不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。

此外，真空镀膜设备所在实验室或车间应保持清洁卫生。地面为水磨石或木质涂漆地面、无尘埃。为防止机械泵工作时排出的气体对实验室环境的污染，可采用在泵的排气口上面装设排气管道（金属、橡胶管）的办法，将气体排出室外。

真空镀膜机的维修及保养方法

真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。

方法：用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（ 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。

当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。

方法：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。

在重新开真空镀膜机前，要注意检漏。

扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。

方法：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，真空镀膜设备无法进入工作状态。

真空镀膜机安装调试过程中的该如何检漏

安装调试阶段是真空镀膜机检漏工作的主体。若设备焊缝的气密性已经通过加工阶段的检漏得以保证，那么在设备安装、调试过程中，检查、保证连接部位的密封性，是检漏工作的重点。包括各个管道、部件间的法兰连接和动密封件等重点可疑部位。若同时对焊缝和连接部位检漏，则检漏的工作量和难度都加大。大型、复杂真空设备最好采用分段检漏，每装上一个部件，便对其连接部位和焊缝进行一次检漏，达到要求后再装下一个部件。因为将所有部件全装配完后再检漏，不仅怀疑部位太多，还可能多个漏孔同时漏气，给总体检漏带来极大困难。

真空设备安装调试过程中的检漏步骤如下：

• 了解待检设备的结构组成和装配过程。掌握设备的要求，查明需要进行检漏的重点可疑部位。

• 根据所规定的最大允许漏率以及是否需要找漏孔的具体位置等要求，并从经济、快速、可靠等原则出发，正确选择好检漏方法或仪器，准备好检漏时所需的辅助设备后拟定切实可行的检漏程序。

• 应对被检件进行好清洁工作，取出焊渣、油垢后再按真空卫生条件进行清洁处理，并予以烘干。对要求高的小型器件。清洁处理后可通过真空烘干箱进行烘烤，进行清洁处理后不但可以避免漏孔不被污物、油、有机溶液等堵塞，而且也保护了检漏仪器。

• 对所选用的检漏方法和检漏设备进行检漏灵敏度的校准，并确定检漏系统的检漏时间。

• 若采用真空检漏法时，为了提高仪器的灵敏度，应尽可能将被检件抽到较高真空。

• 在允许的前提下，应尽可能优先应用较为经济和现场具备条件的检漏方法。

• 采用氦质谱检漏设备检漏时，对于要求检漏不高的或有大漏产生的被检件时，在检漏初期应尽量用浓度较低的氦气进行检漏，然后再进行小漏孔的检漏，以节约氦气。

• 对已检出的大漏孔及时进行修补堵塞后再进行小漏孔的检漏。

• 对检出并修补的漏孔进行一次复查以确保检漏结果达到要求。

真空镀膜机捡漏环节，是从设计、制造、调试、使用等，各个环节都需要进行的步骤，确一不可。

真空镀膜设备运行时如何应急预案

真空镀膜设备在运行操作时，经常会遇到过断水、断电、漏气等突发情况，大家遇到这种情况，一时不知所措，不知道该如何处理，下面小编为大家详细介绍一下真空镀膜设备介绍一下真空镀膜设备运行时如何应急预案:

• 设备工作一段时间需清理打扫

设备工作一段时间，一般50到70炉次，需清理打扫，把粉尘清出炉外，然后空炉工作一次。工作的方式是先抽空为真空度高于10-2 Pa时加热，加热温度一般高于正常使用温度的20℃。在最高炉温时保温一个小时以上，然后自然冷却。这样使设备内部空间保持清洁。

• 更换充气气瓶

设备所用充气气瓶需更换时，拆掉稳压阀，换上一瓶新气，一定要注意安装时不许漏气。在换上新气瓶后，在工件没加热前，应在抽空过程中对炉内充气，以便在换气瓶过程中造成的管路内存有的大气抽出，使充气管路保持清洁。

• 旋转部件应涂少量润滑油

应先涂少量真空泵油对旋转部件的润滑表面。请注意清洁，非铁，沙子和灰尘进入真空泵，定位要接触良好。真空泵的安装应转动轻松，无凹凸不平和堵塞现象严重。

• 正常工作时，发现设备突然漏气

正常工作时，发现设备突然漏气，如马上能找到泄露点，须用真空封泥把泄露点封住，待工作完毕后，再做处理。如不能确定泄露处，则应立即停止工作，然后检修。

• 高温时断水、断电

真空设备最怕的就是高温时断水、断电。因此用户最好在设备安装时建有备用水箱或连有自来水管。设备在高温时断水、断电，此时，泵、阀门均应处于关闭状态，操作人员应马上接通备用水或自来水，对设备进行水冷，如不能很快来电，还应打开充放气系统的手动充气阀，对设备进行充气保护，充气压力为-0.02 MPa左右。然后，把控制柜上的所有按钮关至“关”的位置。同时用湿毛巾搭在电极引出接口处，定期更换，以免电极接口过热，造成密封圈损坏。

作为真空镀膜设备的工程师，以上真空镀膜设备运行时如何应急预案是必须要掌握的基础支持，因为真空镀膜设备作业时，突发情况谁也没办法预知什么时候发生，一旦发生，系需要及时处理，避免造成不必要的损失发生。